Micro and nano fabrication tools and processes

Podrobná bibliografie
Hlavní autoři: Gatzen, Hans H. (Autor), Saile, Volker, Leuthold, Jürg
Další autoři: Muller, Richard S. (Autor úvodu atd.)
Médium: Kniha
Jazyk:angličtina
Vydáno: Berlin : Springer [2015]
Témata:
Umístění:
AOSLM